106.03.13 Mattson CDA N2 特氣 管路配置
地點:新竹市
工程名稱:氣體管路Hookup工程
主要材料:SUS 316 BA , SUS 316EP , PFA 451
Mattson 機台端
Mattson盤面
4% H2/N2 盤面
Mattson CH-2盤面
Mattson CF4 CH-2 盤面
Mattson CH-3 CF4 盤面
Mattson CH-3 4%H2/N2 盤面
Mattson CH-2 機台端
Mattson CH-3 機台端
傳統做氣體的流動大抵是氣體在單管中的流動。做氣體在網管間的流動甚少提及；若有，則幾乎是個案研究。市面上的軟體有做網管流動，但又以液體不可壓縮流動為主，鮮少是氣體的流動。這些軟體，幾乎是用流體頭（Head）做為計算變數，且以迴路做為壓力求解的手段；本網路管線設計則以壓力（Pressure）、質量流率及比容做為計算變數，以節點滿足質能守恆做為要點。
本公司營業項目為
一般氣體,特殊氣體管路工程,氣體監控系統整合設計、化學管路,空調&排氣,給排水,電力,訊號,化學系統整合設計,Hookup統包，規劃、設計、施工、測試、保固維修、系統整合及駐廠服務
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